Stanford Research Systems Анализаторы остаточных газов RGA100, RGA200, RGA300

• диапазоны анализируемых масс: до 100, 200 или 300 а.е.м.
• разрешающая способность менее 1 а.е.м.
• уникальный дизайн нити накала (ThO₂/Ir) с высоким сроком службы
• диапазон измерения парциального давления от 10^-5 до 5×10^-11 Торр (или до 5×10^-14 Торр с электронным умножителем, опция 1)
• Удобное ПО RGA Windows
• Доступные интерфейсы: RS-232 и Ethernet (опция)

Анализаторы остаточного газа с диапазонами 100, 200 и 300 а.е.м. от SRS предлагают исключительную производительность. Эти анализаторы RGA обеспечивают детальный газовый анализ вакуумных систем примерно в два раза дешевле, чем конкурирующие модели. Каждая RGA система поставляется в комплекте с квадрупольным зондом, электронным блоком управления (ЭБУ) и программным пакетом под ОС Windows, который используется для сбора и анализа данных, а также для управления зондом в реальном времени.

Зонд состоит из ионизатора, квадрупольного масс-фильтра и детектора. Простая конструкция имеет небольшое количество деталей, что минимизирует образование газов и уменьшает вероятность попадания примесей в Вашу вакуумную систему. Узел зонда прочен и крепится на стандартный 2 ¾ дюймовый CF-фланец. Он покрыт трубкой из нержавеющей стали, за исключением ионизатора, который требует всего лишь 2 ½ дюйма свободного пространства в Вашей вакуумной системе. Зонд сконструирован с использованием самоцентрирующихся деталей, поэтому его можно легко собрать заново после чистки.

Плотно скомпонованный ЭБУ содержит всю необходимую электронику для управления головой RGA. Питание датчика осуществляется либо от внешнего источника питания +24 В постоянного тока (2,5 А), либо от опционального встроенного модуля питания, который подключается к розетке переменного тока. Светодиодные индикаторы обеспечивают мгновенную обратную информацию о состоянии электронного умножителя, нити накаливания, электроники и зонда.

Для эмиссии электронов используется долговечная двойная иридиевая нить покрытая оксидом тория (ThO2/Ir). Двойные нити ThO2/Ir служат гораздо дольше, чем одиночные нити, что максимально увеличивает время между их заменами. В отличие от других конструкций, нити SRS могут быть заменены пользователем в течение нескольких минут.

Детектор цилиндр Фарадея является стандартным в системах SRS RGA, что позволяет измерять парциальное давление от 10^-5 до 5 × 10^-11 Торр. Для увеличения чувствительности и скорости сканирования предлагается дополнительный электронный умножитель, который детектирует парциальное давление до 5 × 10^-14 Торр. Этот современный макро-мультиканальный диодный электронный умножитель (CDEM) предлагает увеличенную долговечность и стабильность, а также может быть заменен пользователем - впервые для RGA!

Кожух нагревателя O100HJRW для RGA SRS поставляется с контроллером процесса Watlow EHG SL10, который обеспечивает заданную температуру 210 °C (± 3 °C). Кожух нагревателя изготовлен из PTFE (тефлон)-конструкции, подходящей для применения в чистых помещениях благодаря низкому уровню выделения газов и отсутствию твердых частиц. O100HJRW предлагается в версиях 120VAC и 220VAC, и поставляется со шнуром питания для разных стран назначения.

Все RGA имеют встроенную функцию дегазации. Используя десорбцию электронного удара, ионный источник тщательно очищается, что значительно снижает вклад ионизатора в фоновый шум.

Функция защиты нити накала с программным управлением постоянно контролирует (675 Гц) избыточное давление. При обнаружении избыточного давления нить накала немедленно отключается, сохраняя свой срок службы.

Уникальный логарифмический электрометр с температурной компенсацией обнаруживает ионный ток от 10^-7 до 10^-15 ампер за одно сканирование с точностью более 2%. Благодаря такому огромному динамическому диапазону можно одновременно производить измерения малых и больших концентраций газа.

Связь с компьютером осуществляется через интерфейс RS-232. Сканирование данных, обнаружение утечек и параметры зонда управляются и контролируются с помощью высокоуровневого набора команд. Это позволяет легко интегрировать в существующие программы.

RGA-системы управляются программным пакетом под ОС Windows в реальном времени. Интуитивно понятный графический интерфейс пользователя позволяет быстро и легко проводить измерения. Программа полностью интерактивна, предоставляя пользователю полный контроль над графическим дисплеем. Экран может быть разделен для работы в двух режимах, шкалы могут быть установлены в линейном или логарифмическом формате, а данные могут масштабироваться вручную или автоматически. Данные захватываются и отображаются в режиме реального времени или по расписанию для сбора в заданный интервал времени для долгосрочной регистрации данных.

Программное обеспечение также позволяет осуществлять полное управление головкой RGA с простой настройкой шкалы массы, калибровкой чувствительности, настройкой ионизатора и электронным умножением коэффициента усиления. Для дальнейшего анализа файлы данных могут быть сохранены в формате ASCII для удобного переноса в электронные таблицы. Графические изображения могут быть сохранены в виде файлов META или скопированы в буфер обмена для импорта непосредственно в другие программы Windows. Программное обеспечение также обеспечивает парольную защиту для блокировки параметров головы, чтобы случайные пользователи не могли изменять важные настройки. С помощью программного обеспечения можно контролировать до восьми ЭБУ. Драйвер LabVIEW также доступен на сайте SRS.

Дополнительный автономный монитор (PPM100) может использоваться для управления RGA без хост-компьютера.

Семейство RGA SRS идеально подходит для приложений, связанных с анализом газов, обнаружением утечек и вакуумной обработкой. Предлагаются системы на 100, 200 и 300 а.е.м. с программным обеспечением под ОС Windows и опциями, включающими электронный умножитель и встроенный модуль питания для работы с линией переменного тока.

Опции:

опция 01 - электронный умножитель

опция 02 - встроенный модуль питания от сети переменного тока

опция 03 - выход счетчика ионов (требует опцию 01)

O100HJR - колпачок нагрева до 200 °C

O100MAX - максимальный нипель введения с фланцем диаметром 114 мм

O100REA - Ethernet адаптер

O100EM - запасной электронный умножитель

O100RF - запасная нить накала

O100R1 - запасной набор ионизации (включает нить накала)

Сравнение RGA200 и XT200/XT200M

Анализатор остаточных газов RGA - технические особенности

Отбор проб высокого давления с помощью RGA-100

Расширенное техническое описание