Система мониторинга технологических газов серии UGAPM
от $47 663,00
- Работает от 1 мТорр до 20 Торр.
- Системы 100, 200 и 300 а.е.м.
- Время отклика <1,5 секунды
- Многоточечный анализ
- Мульти-диапазонные приложения
- Почти нулевой мёртвый объём
- Системный прогрев
Описание:
Системы мониторинга технологических газов серии UGAPM - это современные масс-спектрометры, предназначенные для анализа технологических газов. Они работают в диапазоне от 20 Торр до 1 мТорр. На входе непрерывно отбираются пробы газов с низкой скоростью потока (около 5x10-5 мбар л/с), что делает прибор идеальным для анализа в режиме реального времени.
Приложения UGAPM включают в себя CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD, вакуумное покрытие/ плазменное травление, испарение, осаждение брызг, вакуумную термообработку, целевое горение, обнаружение утечек/ виртуальную утечку/ десорбцию, исследование загрязнений, анализ малых объемов (в диапазоне 0,1 мл) и т.п.
Эти анализаторы просты в эксплуатации и обслуживании. Управление всеми компонентами может осуществляться с передней панели или с удаленного компьютера. В системах UGAPM капилляр из нержавеющей стали с наружным диаметром 1/16 дюйма или 1/8 дюйма используется для отбора проб в среднем вакууме. При такой конфигурации между технологической камерой и анализатором практически нет мертвого объема.
Система UGAPM использует одноступенчатый капилляр, снижающий давление на входе для отбора проб газов с давлением от 1 мТорр до 20 Торр. После снижения давления примерно до 10-6 Торр газовый поток направляется в масс-спектрометр (анализатор остаточных газов - RGA), который измеряет концентрацию каждой интересующей массы.
Программное обеспечение UGAPM Windows предоставляет графический пользовательский интерфейс для построения графиков и анализа данных. Программное обеспечение также позволяет дистанционно управлять клапанами, нагревателями и насосами системы.
В качестве опции доступен клапан с несколькими входами и двумя возможными конфигурациями. Одна из них - многоканальная конфигурация, которая может применяться для одного конкретного давления пробы в различных местах. Другая - многоканальная конфигурация, которая может применяться для различных диапазонов давления пробы.
Система UGAPM может управляться с передней панели или с компьютера. На выбор предоставляется ручное или автоматическое управление всеми компонентами системы.
Данные измеряются и отображаются с помощью программного обеспечения UGAPM. Интуитивно понятный пользовательский интерфейс позволяет быстро и легко проводить измерения. Данные собираются и отображаются в режиме реального времени или планируются к получению в заданное время.
Функции включают в себя аналоговые и гистограммные режимы сканирования, графики зависимости давления от времени, обнаружение утечек, библиотеку газов и онлайн-помощь.
Параметрами RGA также можно управлять и контролировать с помощью высокоуровневого набора команд ASCII. Стандартные интерфейсы RS-232 и Ethernet используются в качестве канала передачи данных на ПК.
Анализаторы серии UGAPM предлагают наилучшее соотношение цены и качества в настоящее время. Они обеспечивают более высокую производительность, лучшие характеристики и по цене значительно ниже, чем у конкурентов.
Модификации:
UGAPM100 - Система мониторинга технологических газов, 100 а.е.м.
UGAPM200 - Система мониторинга технологических газов, 200 а.е.м.
UGAPM300 - Система мониторинга технологических газов, 300 а.е.м.
Опции:
Опция 01 - Многопортовый вход
Опция 02 - Порт вентиляции ТМН
Компания также предоставляет следующие услуги:
- Вы ставите нам задачу по измерениям, мы подбираем для Вас несколько вариантов ее решения с обоснованием каждого варианта.
- Комплектуем измерительную систему в соответствии с Вашими требованиями и предоставляем спецификацию и/или техническое задание, технико-коммерческое предложение.
- Проводим для Вас демонстрацию работы системы и предоставляем Вам возможность провести тестовые измерения.
- Предоставим Вам оборудование во временное пользование, если срок поставки заказанного Вами оборудования не удовлетворяет Вашим требованиям по сроку поставки.
- Проведем первичную поверку и пуско-наладку поставленной измерительной системы.
- Обучим Ваш персонал работе на поставленном оборудовании.
- В течение гарантийного срока обеспечим быстрый и качественный ремонт Вашего оборудования. По запросу заказчика, подтвердим качество ремонта свидетельством о поверке.
- Ответим на все Ваши вопросы, возникающие в процессе эксплуатации приборов.
- Проконсультируем по вопросам выбора программного обеспечения САПР для ВЧ/СВЧ устройств и систем моделирования, поставим ПО САПР и окажем техническую поддержку.
- Обеспечим расширение возможностей имеющегося у Вас оборудования за счет поставки обновления микропрограммного обеспечения.
- Мы работаем на рынке контрольно-измерительного оборудования уже более 15-ти лет и рассчитываем на долгосрочное сотрудничество с нашими заказчиками.